传统上,IC芯片与外部的电气连接是用金属引线以键合的方式把芯片上的I/O连至封装载体并经封装引脚来实现。随着IC芯片特征尺寸的缩小和集成规模的扩大,I/O的间距不断减小、数量不断增多。当I/O间距缩小到70 um以下时,引线键合技术就不再适用,必须寻求新的技术途径。晶圆级封装技术利用薄膜再分布上艺,使I/O可以分布在IC芯片的整个表面上而不再仅仅局限于窄小的IC芯片的周边区域,从而解决了高密度、细间距I/O芯片的电气连接问题。在众多的新型封装技术中,晶圆级封装技术最具创新性、最受世人瞩目,是封装技术取得革命性突破的标志。晶圆级封装技术以晶圆为加工对象,在晶圆上同时对众多芯片进行封装、老化、测试,最后切割成单个器件。它使封装尺寸减小至IC芯片的尺寸,生产成本大幅度下降。晶圆级封装技术的优势使其一出现就受到极大的关注并迅速获得巨大的发展和广泛的应用。在移动电话等便携式产品中,已普遍采用晶元级封···